随着事业的迅速发展,越来越多的疾病可以适用植入型器械来进行,常见的植入型产品有人工耳蜗、心脏起搏器、脑电极、植入式传感器、、食道管支架、心脏搭桥、心脏封堵器等,这些产品植入产品,安全性至关重要,往往适用钛合金材料。另外也需要对内部元器件小心保护,常常适用满足生物相容性的涂层来保护,派瑞林parylene涂层不仅通过美国FDA认证,且满足生物相容性的要求,同时派瑞林涂层也有较好的绝缘性、防腐蚀、自润滑的特性,所以被广泛应用在产品中,作为保护涂层。
聚对二甲苯是由Specialty Coating Systems( Indianpolis, IL)公司提供的标记聚对二甲苯基家族聚合物的一种化学名称,是初发明聚对二甲苯的UnionCarbide公司认可的命名。
此外,真空沉积的帕利灵具有均一性、保形性,无微孔无缺陷,化学性质不活泼等优良特性。由于真空沉积不使用催化剂和溶剂,产出的薄膜很纯净,释气量很小。
聚对二甲苯化学性质不活泼,表面涂层保形,而且是一种很好的聚合物绝缘层。历史上,它被用作医用涂料、植入式神经丝探针的绝缘层、层间电介质,并且在1997进入MEMS领域,成为流体互连的涂层材料。聚对二甲苯因其淀积方式(真空中)、无针孔淀积、低加工温度、透明度和微加工工艺的兼容性成为一种流行的标准MEMS材料。
聚对二甲苯的物相淀积是在真空腔中实施的,进入气化室时呈颗粒状。以C型聚对二甲苯为标准,温度逐渐升高到150%C,这是二聚体的初始温度。接着,聚对二甲苯被热解使其二聚体裂成单自由基对二(650℃)。在淀积室内(25℃),单体聚集到所有面上,以约5μm/h的速率聚合成C型聚对二甲苯。近研制出一种通过在淀积室改进样品添加装置来直接淀积聚对二甲苯为纳米结构薄膜的工艺。