安庆微电子产品绝缘耐压派瑞林parylene涂层加工

聚对二甲苯是由Specialty Coating Systems( Indianpolis, IL)公司提供的标记聚对二甲苯基家族聚合物的一种化学名称，是初发明聚对二甲苯的UnionCarbide公司认可的命名。商业上存在一些聚对二甲苯的替代物，它们的成分和聚对二甲苯一致，只是在合成路径上因初始二聚体(对二二聚物)而有不同。然而，Spe-cialtyCoatingSystems版本是当前被美国食品及药物(FDA)所批准的版本。聚对二甲苯是一种USP(United States Pharmacopeia,美国药典)VI族材料，适合长期植入人体，所以是在医疗产业历史上十分**的生物相容涂层材料。可以从很多方面检查其生物相容性，它的生物稳定性、低细胞毒性和抗水解性是其在医疗产业被广泛应用的关键属性。

植入式医疗器械要受到保护方可起作用。有大量的植入式医疗器械受益于聚对二甲苯涂层的应用。因聚对二甲苯薄膜保护而获得好处的医疗器械有：
脑探针
骨生长物
骨针
插管
心脏装置（CAD）
导管
耳蜗植入物
电子电路
电外科设备（ESU）仪器
注射针头
心轴
气动外科器械
假体组件
各种矫形外科装置

随着物联网成为现实，各类传感器应用也越来越广泛，如智慧城市、智慧医疗、人工智能、无人驾驶、可穿戴设备等，且用于各种复杂环境和较端环境中。用于这些恶劣环境中的传感器，无疑会出现生锈、腐蚀、受潮等现象，大大影响其正常工作，缩短使用寿命。派瑞林涂层作为一种高分子复合材料，以其优异的性能和防护级别，成为各类传感器防护材料的，发挥着重大作用

与其它常见的保形涂层相比，聚对二甲苯涂层具有*特的化学气相沉积（CVD）过程。用于聚对二甲苯应用的气相沉积过程可通过包括陶瓷、复合物和金属物质在内的范围广泛的底物／产品材料在复杂的植入物表面产生一层耐用、无针孔的保形薄膜。采用传统的方法（涂刷、浸渍、喷涂等）涂布到印刷电路板上的丙烯酸树脂、环氧树脂、硅酮和乌拉坦等液体涂层会有积液、起脊或表面不平整等问题。气相沉积能确保聚对二甲苯涂层比液体涂层更真正保形。
气相化学真空聚合作用可将化学惰性的粉末状聚对二甲苯二聚体转变成分子水平的气体形式。在沉积过程的阶段，粉末状的二聚体前体在真空中被加热，开始变形成蒸气。在气态下，聚对二甲苯二聚体被输送到炉腔，在**过600°C的温度下接受处理，热解成反应性的单体。后，聚对二甲苯气体沉积为沉积腔中的一层薄膜。聚对二甲苯的沉积不需要任何催化剂或溶剂。
气体CVD应用的优点是易于穿透进小的缝隙，以厚度均匀可控、符合植入物性能要求的一层涂层绷紧多层元件上的所有区域。